某半导研制机构因晶圆洗掉工步诞生含氨废液，储水量200吨/天。废液中除化学需氧量外还含带氟化物和进样器血本属，除理高难度大。本地的排放准则的要求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理工艺化学物质及原因 晶圆进行维护清洁废水处理（首要源）：含氧化还原电位200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工步焦化废水：含少量铜、镍等天价属，pH值价格波动大 CMP精磨废渣：含硅颗粒肥料及挥发酚 处里加工过程步骤 用到"无机化学积淀+膜拆分+折点氯化"结合加工制作工艺 ： 异常处理 ：污泥脱水CaCl2除氟，掌握pH在7.5-8. 反渗透膜软件 ：除掉0.01μm这粉末物 反融入浓缩咖啡 ：将氟化物溶缩至1000mg/L上面的 折点氯化 ：精准度管控氯添加量，将氟化物还原成为氢气 铁离子互转 ：有效保障血本属达到 不可能功效 氧化还原电位稳固＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属含磷量不低于检则限 水使用率达75% 污水出现量减低40%