该厂为8英尺晶圆的多个设施的超纯净水系统化，每顿饭产生了含硅污水150吨。污水底虽无天价属，但硅含量的高易水垢，且内阻率需实现18MΩ·cm就要中水回用。现有工作工艺设备未能满足需要新颁布法律的《网上产业水弄脏物排卸规范》（GB39731-2020）特别排卸最大限度。 废水处理方法因素优点和缺点 最主要的环境排放物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、小粒硅（比表面积0.1-1μm） 特殊的必须 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 地表水因素 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物体型繁杂 治疗加工制作工艺 注意事项 全新使用"梯级膜分离处理+电去铝离子"组装生产工艺： 微滤预除理 ：1μm工业陶瓷膜截拦大粒状硅，通量长期保持80LMH 化合物对换光敏树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂选取性吸收硅酸分子式 下级RO平台 ：首先段收集率60%，其次段用到高脱硼膜电子器件 EDI电去阴阳离子 ：瞬时电流强度2A/m²，将持续除掉残存阴离子 分光光度计消毒 ：254nm紫外线灭菌灯线摄入量40mJ/cm² 技艺亮点纷呈 建设专用箱阻硅剂（巧妙胺类复合型物），抑制膜被污染的周期时间3倍 EDI模块电源多元化流道结构设计，硅清除率大幅提升至99.8% 手机在线硅剖析仪（精确检测范围之内0.1-500μg/L）保持优质控制 进行效果 经第二方监测： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼分量从8μg/L减少为0.3μg/L 设备收旧率从原40%的提升至68% 膜进行更换时间段减少至5年，年运转代价调低35%