该晶圆加工厂是在华南省市,主要的生孩子8屏幕尺寸光电器件晶圆,每日废水处理方法排放出标准规定量约800吨。仍然的生孩子操作过程中适用过量氢氧化钠确定晶圆蚀刻,以至于废水处理方法中氟化物氨水浓度万代高达200-300mg/L,远超发达国家排放出标准规定标准规定(10mg/L低于)。
生活污水部分及原因
废水处理工艺具体出自三流程:
晶圆蚀刻工艺技术
:含高氨水浓度氟化物(HF)、盐酸及小量巨资属
有机化学机戒拋光(CMP)废水处理工艺
:含纳米技术级硅颗粒肥料、巧妙络合剂
产品清洁污废水
:含异丙醇、氧化还原电位等有机肥料物
操作技艺过程
选择"化学物质滤渣出的+沥青混凝土滤渣出的+淬硬层滤水"三类处置系统软件:
4级净化处理
:添加氯化钙和氢腐蚀钙,出现氟化钙放置,氟化物去掉率达85%
二级考试操作
:增加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),清掉胶体溶液态破坏物
三级视频操作
:按照多材质过滤程序器和渗透性炭吸附物,出液氟化物盐浓度固定在8mg/L下例
主要的设备收录:pH智能的调节程序、斜管滤渣池、板框厢式压滤机(工业废水脱干)。
不可能作用
顶目启动三年期监测器参数凸显:
氟化物差不多氧化还原电位:7.2mg/L(超过中国基准)
COD消除率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年收废氟化钙副服务约150吨,实现目标信息化应用