半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
业务游戏背景
该产业化园集结了十余家光电器件对应客户,来设计日处里的能力5000吨,须得处里根据多种客户的混合型喂养生活污水。鉴于各客户生产销售制作工艺差异化大,生活污水营养成分简化多样化,处里難度较高。
废水处理工艺化学成分及从何而来
废污水重要收录五大类:高渗透压巧妙废污水(光刻胶、定影液等)、含氟废污水(刻蚀工艺技术)和碱酸废污水(擦洗工艺技术)。个性化化学物质收录异丙醇、四甲基氢腐蚀铵等难溶解巧妙物,及其氟化物、挥发酚等三聚氰胺树脂严重污渍。废污水COD浮动大(500-3000mg/L),氟化物渗透压100-500mg/L,挥发酚50-150mg/L。
操作艺具体流程
按照"分为自身+分质处里+集约化长度处里"的企业创新形式:
商家企业内部的分类预净化解决:含氟废液一个人获取并预净化解决
居民小区污水管道类型运输系统的
融合调低池均衡教育水的质量
多级水泥混凝土沉定彻底清除浮动物和胶体溶液
高效能生物技术反应迟钝器(HBR)加工处理无机严重工业废气
臭氧的危害促使腐蚀挥发难化解巧妙物
反构建程序来脱盐加工
红外光谱线消毒杀菌狠抓出水出水安全卫生
特点装置了再线探测控制体系和自己投加控制体系,对待饮用水动荡。
之后结果
系统的程序运行几年来,处置实际效果保持稳定靠得住。喷水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,符合地下水Ⅳ类原则,一部分循环于工业区园林绿化及冷确塔补充水分,循环率可超过30%。每次极大减少最新鲜水利用约100万吨,为工业区企业避免浪费电费数十万万多。