半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
項目原型
该中小企业的为世界上世界领先的半导体行业公测中小企业的,坐落在粤港澳大湾区形地,主要实现高端大气电子器件的片区和装封测试测试。仍然本省节能减排规范要求按照严格,中小企业的关键执行废渣零直接排放工程建设。项目流程于2020年开机,202五年6月建好投建,清理大小为200吨/日,总投资人约2000亿元。
污废水 组成及来原
某项意图划区污水有着下述基本特征:
高氧盐浓度氟化物,核心出自于晶圆切除后的擦拭加工过程,氟正离子氧盐浓度超过150-200mg/L
所含微米级硅粉粒状,比表面积多在100-500nm两者
有机化学负荷率较高,COD在500-800mg/L
有进样器天价属如铅、镉等
导电率高,往往在2000-3000μS/cm
处置工序标准流程
为达成污水处理技术标准方向,技术装修设计重点来考虑废水处理类型采集和环境资源收回:
化工废水等级分类抽取设备
:将含氟废污水与其余废污水拆开提取
化工析出除氟
:采取多级钙盐放置法,结合快速放置池
层级氧化的加工处理
:臭氧杀菌催化反应腐蚀降解塑料难治理 有机化合物物
膜浓缩提炼系统的
:运用DTRO碟管式反加入,提液7的倍数为10倍
汽化析出
:MVR机械厂过热蒸汽再压缩的蒸馏器解决浓水
干澡装置
:将凝结盐常温、干燥后对于鑫霖环保副类产品外售
操作使用效果
系统性进行数据表格提示 :
氟化物洗去率>99.9%,出水量氟铝离子<1mg/L
COD总除掉率>98%,留水COD<20mg/L
中国水资源共享收集率>95%,仅造成一点结晶体盐
年年可再利用高品级中水回用水约8万吨
凝结盐溶解度保持化工业级标准的,保持产品化采用
产品不止实行了废污水零排污,还在影视再生资源回收公司创造自己了约80万多/年的双倍投资回报。